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太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类

发布时间:2022-05-08 10:49:23 浏览量:

太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中,需要转换成硅化合物的中间产物,再利用裂解或氧化还原反应,将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。

物理法制程又称为冶金法,是将冶金级硅在不改变硅的本质状况下,将杂质利用物理或化学法移除,虽然还是有化学反应参与,但其反应对象是针对硼、磷等杂质,硅并未改变其化性,以物理法纯化的纯度有其极限,由于成本低廉,被视为是取代高纯度多晶硅的明日之星。

化学法制程可产出纯度较高的多晶硅,但由于中间牵涉到许多副产品的控制与处理,技术难度较高,依照不同技术来源,成本各异,一般来说成本比物理法制程高。大部分化学法都需利用冶金级硅(metallurgical grade silicon;MG)来当作硅化合物的原料,少数是直接利用二氧化硅来制备硅化合物。

化学法中,西门子法(Siemens process)广为早期生产半导体级多晶硅的业者所采用,此法技术成熟但成本较高。除西门子法外,尚有ASiMi法、流体床反应法与管状沉积法等。

ASiMi法是Advanced Silicon Material (ASiMi)公司所研发,系利用硅甲烷(silane/ SiH4)为原料的高纯度多晶硅制程技术。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市场,大部分股权由挪威REC (Renewable Energy Corp)收购,因此此项技术目前仍由REC在进行生产。

流体床反应法与ASiMi法同样以硅甲烷为原料,这种方法的反应温度较低,可减少近30%的耗电量,且因硅晶种反应面积较大,反应炉内气流速度快,可解决ASiMi法沉积速度慢的问题。流体床反应可为连续式的生产,也是流体床反应炉优于钟罩形西门子反应炉的原因。

管状沉积法是Joint Solar Silicon GmbH (JSSI)使用的多晶硅生产技术,所使用的原料与原理和流体床反应法相同,皆为硅甲烷与氢气加热分解后产生的多晶硅。JSSI宣称此法所消耗的电量为传统西门子法的10分之1,转换率可达95~98%,目前已有量产纪录。



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